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无尘洁净室的一些基本常识

发布时间:2020-12-14 浏览:
  1、无尘洁净室是指为消除一定空间内空气中的颗粒、细菌等污染物,将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、噪声振动、照明、静电控制在一定需求范围内而专门设计建造的无尘洁净室。
  
  2、洁净室原则。洁净室是一种使用HEPA和空气净化设备,其尘埃的收集率在99.97~99.99995%,所以用这种过滤器过滤的空气可以说是非常干净的。但是洁净室除了人,还有机器等尘源。一旦这些产生的灰尘扩散,就不可能保持一个干净的空间。因此,有必要利用气流将产生的灰尘快速排出室外。

无尘洁净室的一些基本常识
  
  3、洁净室的三个灰尘。洁净室有三个原则:禁尘、带尘、产尘。空气淋浴房作为进入洁净室的缓冲通道之一,是控制灰尘的最佳净化设备之一,可以最大限度地减少员工进出洁净室带来的污染问题。淋浴房的两个门是电子联锁的,也可以作为气闸室,防止外界污染和未净化的空气进入无尘洁净区,达到生产车间所需的生产洁净环境。
  
  4、洁净室最重要的作用是控制洁净度日和产品(如硅片等)所在大气的温湿度。让产品在良好的环境空间里生产制造,我们称之为洁净室。根据国际惯例,无尘净化水平主要是根据每立方米空气中直径大于分类标准的颗粒数量来定义的。也就是说,无尘不是100%无尘,而是控制在极少量的单位。当然,这个标准中符合尘埃标准的颗粒相对于我们常见的尘埃来说是非常小的,但是对于光学结构来说,哪怕是一点点尘埃都会产生非常大的负面影响,所以无尘是光学结构产品生产中的必然要求。
  
  将粒径小于0.5微米的粉尘数量控制在每立方米3500以下,达到国际无尘标准A级。目前芯片级生产加工应用的无尘标准对粉尘的要求比A级高,这样高的标准主要用于一些高等级的芯片生产。粉尘量严格控制在每立方米1000以内,也就是业内俗称的1K级。

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