洁净室是污染控制的基础,是空气过滤、分配、优化、建筑材料、设备的房间。在洁净室极高的硅片制造链中,必须是一个没有污染源的环境,一个超洁净的车间,才能正常批量生产硅片零件。
与国外相比,我国洁净室的发展起步较晚。在过去的二十年里,随着越来越多的外国公司在中国设立或合资企业,一些高科技企业对生产环境提出了要求。为了增强竞争力,各行各业都开始追求洁净室的质量。


正确合理的设计是保证洁净室稳定运行的前提。在实际使用中,不正确的维护和不规范的管理会降低洁净室的空气洁净度,导致洁净室指标达不到要求。因此,正确、科学地维护和管理洁净室至关重要,应从各个方面加以完善。
洁净室人员控制
经检测分析,洁净室80%的微污染是由工作人员造成的。当工作人员进出洁净室时,粉尘显著增加,洁净度立即恶化。因此,进入洁净室前,员工应做好清洁、擦拭等防尘动作,企业也应培训员工,制定相应的章程和制度。


洁净室物品管理
工作人员会带入灰尘,所以所有的材料和设备也会影响洁净室的清洁。当物流和设备进入时,不要将任何颗粒或微生物带入房间。工作人员应在洁净室穿干净的衣服,用无尘纸擦拭材料和设备。运输时,应在地板上铺设干净的不锈钢板,以防损坏地板。
洁净室定期检查
对于洁净室的各种设备,进入无尘室后,应经常清洗消毒,并定期检查,防止无尘室中灰尘颗粒和微生物的产生、繁殖和滞留。


洁净室系统构建和维护
洁净室除了防止灰尘进入外,还应配备净化空调系统、水电系统、生产工艺设备等各种设备设施,确保洁净室空气洁净度等级的使用符合产品生产工艺的要求。在系统的正常运行中,维护也至关重要。比如空气过滤器是否正常畅通,密封垫是否牢固,鼓风机轴承是否正常运转。每一项都影响系统的运行,所以不能省略。
现在为了满足各行业的需求,大部分洁净室都会选择“量身定做”。应尽可能建立完善的制度,防止后续问题影响洁净室的使用,浪费时间和金钱。很多缺乏这方面重要性意识的企业,最后都后悔了,但为时已晚。
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